Analysis of a Chemical Vapor Deposition Process with Tetraethyl Orthosilicate and Ozone Using an Atomic Force Microscope.
1994 ◽
Vol 60
(7)
◽
pp. 974-978
Kazuyoshi SUGIHARA
◽
Akira SAKAI
◽
Yoshiaki AKANIA
◽
Tetsuo MATSUDA
◽
Masao TOYOSAKI
◽
...
1993 ◽
Vol 28
(4)
◽
pp. 169-176
◽
Y. T. Lin
◽
M. Choi
◽
R. Greif
1988 ◽
Vol 9
(3)
◽
pp. 237-249
◽
M. Fiebig
◽
M. Hilgenstock
◽
H.-A. Riemann
1993 ◽
Vol 140
(12)
◽
pp. 3588-3590
◽
Roger W. Cheek
◽
Jeffry A. Kelber
◽
James G. Fleming
◽
Robert S. Blewer
◽
Richard D. Lujan
2011 ◽
Vol 115
(37)
◽
pp. 10290-10298
◽
Y. J. Shi
◽
X. M. Li
◽
R. Toukabri
◽
L. Tong
1986 ◽
Vol 3
(1)
◽
pp. 21-25
G. TAMIZHMANI
◽
M. COCIVERA
◽
R. T. OAKLEY
◽
P. DEL BEL BELLUZ
1992 ◽
Vol 61
(15)
◽
pp. 1790-1792
◽
Bikas Maiti
◽
Ming Yin Hao
◽
Insup Lee
◽
Jack C. Lee
2014 ◽
Vol 53
(22)
◽
pp. 9076-9087
◽
Carlo Cavallotti
◽
Filippo Rossi
◽
Stefano Ravasio
◽
Maurizio Masi
William A. Syverson
◽
Paul J. Schubring